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故障原因：光柵尺的故障絕大多數問題出在讀數頭上。首先是元件老化造成的失效，其次因其是運動部件，很可能會出現機械磨損或部件脫落現象。
清潔讀數頭：不要試圖用任何東西清理讀數頭上的光學器件，尤其是有機溶劑，可能會加劇電路板老化并破壞透鏡上的鍍膜涂料。
光柵尺本體問題：光柵尺本體也是可能出現問題的，比如光柵玻璃的安裝不到位，時間久了后，光柵玻璃的精度可能會喪失。而且光柵玻璃也有可能斷裂或者缺口，如果出現斷裂，如果斷裂部分在光柵尺用不到的頂部，還是可以用的，如果在重要位置，必須要更換新尺。
打表校準：每安裝一把光柵尺，必須要對其尺子本體進行打表，有兩個面，水平面和垂直面都要打，短尺控制在10絲以內，長尺控制在20絲以內。如果打表不準確的話，不但可能會影響尺子的精度，甚至會影響尺子的使用壽命。
維修準備：維修光柵尺是一項細致的工作，要事先做好一切準備，包括技術咨詢、元器件的選型配備、維修中的輕拿輕放、避免污染等都要注意，真正稱得上是一件細節決定成敗的工作。
光柵尺清潔：不要試圖用任何東西清理讀數頭上的光學器件，尤其是有機溶劑，可能會加劇電路板老化并破壞透鏡上的鍍膜涂料。
光柵尺進水處理：如果光柵尺進水，進油后會出現計數不準、CNC報警等現象，水或油并不會損壞光柵尺內的玻璃標尺或鋼帶標尺，用99%濃度的酒精對其清洗后，可正常使用。但水或油可能對讀數頭造成損壞，因為讀數頭上有電路板，被油、水污染后，可能造成短路、元器件燒毀、元器件老化等問題。
光柵尺玻璃破損處理：光柵尺玻璃破損如何處理？可以考慮更換新尺，或者在不影響使用的情況下，進行修復。
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